最新章节:第3835章 一人,敌千军
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蒸镀舱的真空度达标后,许秋和莫文琳又回到实验室,先按照正常的方法用束源炉加热法蒸镀了三氧化钼。之后等待束源炉温度降低至100摄氏度以下,开始准备蒸镀金属电极。平常蒸镀厚膜金属电极的时候,蒸镀的速率并不是很重要,有的时候赶时间,还会直接用闪蒸的操作方式制备电极。所谓闪蒸,突出一个字“闪”,就是直接用大电流,在不烧断保险丝的前提下,把蒸镀速率拉满,嗖的一下就把膜给镀好了。对比一下,正常蒸金属电极是大约1埃每秒,即0.1纳米每秒的蒸镀速率,蒸100纳米需要大约17分钟。而闪蒸的速率可能会达到6埃每秒,甚至10埃每秒以上,直接几分钟就能搞定。除了蒸的快,闪蒸还有另外一个优点,那就是蒸的厚,对靶材的利用率高。尤其是平常在蒸镀金的时候,因为金比较贵嘛,所以为了防止浪费,都是尽量少加金靶材,然后直接闪蒸的。根据许秋的经验,如果闪蒸把金全部蒸完,得到的金膜厚度是100纳米的话,正常速率蒸镀得到的厚度
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